蔡司场发射扫描电镜SIGMA 500
蔡司场发射扫描电镜sigma 500采用了gemini电子束无交叉光路设计，打破了传统设计中电子束交叉三次发生能量扩散的局限性，束流大小适中，极大地降低色差对图像质量的影响;镜筒内置电子束加速器，无需切换减速模式就可实现高质量低电压成像，最低20v可成像，且对样品类型无限制;镜筒物镜采用静电透镜加电磁透镜组合，工作距离范围内没有磁场，能在高倍率下观察磁性材料;镜筒内正光路安装的环形二次电子探测器in-lens;圆柱形一体化超大样品室，配有5轴全自动优中心样品台，能装直径250mm的超大样品;可将同一品牌的电镜与光镜联合观察(选配)，只需一个通用样品夹和关联软件为shuttle & find,可以充分发挥光镜及电镜的各自优势。
蔡司场发射扫描电镜
产品参数
(1)电子源：gemini镜筒，高稳定性schottky热场发射电子枪。
(2)物镜系统：电磁/静电式物镜系统，电子束无交叉光路设计。
(3)高真空se分辨率：0.8nm@15kv, 1.4nm@1kv
(4)加速电压：20v～30 kv，以10 v步进连续可调，无需切换减速模式。
(5)探针电流：4pa-20 na，束流稳定性优于 0.2 %/h。
(6)放大倍率范围：10×～1,000,000×(照片放大倍率)。高倍率与低倍率连续可调，无需任何模式转换。
(7)探测器系统：样品室内二次电子探测器1个;镜筒内正光轴环形高效二次电子in-lens探测器1个;
样品室内hdbsd高分辨背散射电子探测器1个;红外ccd样品室观察系统1个。
(8)样品室形状及尺寸：样品室是由整块钢件掏空制成的为圆柱形、厚壁、整体结构样品室,抗磁，防震，抗噪声效果最好。
样品室直径或宽度要求不小于350mm，高度或深度不低于250mm;
(9)样品台类型：5轴马达样品台，抽屉式安装，采用双操纵杆控制盒控制。移动范围：x>125mm;y >125mm;z >40 mm;t≥-4º~+70º;r=360º。
(10)能谱仪工作条件：工作距离8.5 mm，x射线出射角35°。
(11)物镜光阑：7孔光阑，先进的电磁式自动选择与电子束对中。
(12)x射线能谱仪(牛津)
探测器：分析型sdd硅漂移电制冷探测器，晶体面积30mm2。超薄窗设计, 无需液氮冷却，仅消耗电能。
能量分辨率：mnka保证优于127ev, 元素分析范围: be4～cf98。
圆形对称芯片，独立封装fet场效应管，避免x射线轰击。
谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，mnka峰谱峰漂移小于1ev，分辨率变化小于1ev, 48小时内峰位漂移小于1.5ev。
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(2)物镜系统：电磁/静电式物镜系统，电子束无交叉光路设计。
(3)高真空se分辨率：0.8nm@15kv, 1.4nm@1kv
(4)加速电压：20v～30 kv，以10 v步进连续可调，无需切换减速模式。
(5)探针电流：4pa-20 na，束流稳定性优于 0.2 %/h。
(6)放大倍率范围：10×～1,000,000×(照片放大倍率)。高倍率与低倍率连续可调，无需任何模式转换。
(7)探测器系统：样品室内二次电子探测器1个;镜筒内正光轴环形高效二次电子in-lens探测器1个;
样品室内hdbsd高分辨背散射电子探测器1个;红外ccd样品室观察系统1个。
(8)样品室形状及尺寸：样品室是由整块钢件掏空制成的为圆柱形、厚壁、整体结构样品室,抗磁，防震，抗噪声效果最好。
样品室直径或宽度要求不小于350mm，高度或深度不低于250mm;
(9)样品台类型：5轴马达样品台，抽屉式安装，采用双操纵杆控制盒控制。移动范围：x>125mm;y >125mm;z >40 mm;t≥-4º~+70º;r=360º。
(10)能谱仪工作条件：工作距离8.5 mm，x射线出射角35°。
(11)物镜光阑：7孔光阑，先进的电磁式自动选择与电子束对中。
(12)x射线能谱仪(牛津)
探测器：分析型sdd硅漂移电制冷探测器，晶体面积30mm2。超薄窗设计, 无需液氮冷却，仅消耗电能。
能量分辨率：mnka保证优于127ev, 元素分析范围: be4～cf98。
圆形对称芯片，独立封装fet场效应管，避免x射线轰击。
谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，mnka峰谱峰漂移小于1ev，分辨率变化小于1ev, 48小时内峰位漂移小于1.5ev。
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