日本电子株式会社：推出新型肖特基场发射(FE)扫描电子显微镜JSM-F100
日本电子株式会社：推出新型肖特基场发射（fe）扫描电子显微镜jsm-f100
―全新级别的智能分析场发射扫描电子显微镜（fe-sem），兼具高分辨率和强大的可操作性―
东京--（business wire）--（美国商业资讯）--日本电子株式会社（jeol ltd.） （tokyo:6951） （www.jeol.com）（总裁兼首席运营官：大井泉）宣布，将于2019年8月推出新型肖特基（schottky）场发射扫描电子显微镜jsm-f100。
背景 扫描电子显微镜（sem）应用于不同的领域：纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等。随着应用范围的扩大，sem用户需要快速、高质量的数据采集及简单的组成信息确认和无缝操作。
jsm-f100搭载我们备受推崇的浸没式（in-lens）肖特基plus场发射电子枪和“neo engine”（电子光学控制系统），以及全新的gui “sem center”和创新的“实时图像视觉增强器-人工智能（live-ai）滤镜”，实现了高空间分辨率成像和可操作性的最优组合。此外，标配的jeol能量色散型x射线光谱仪（eds）完全整合于“sem center”内，可实现从图像到元素分析结果的无缝采集。jsm-f100提供卓越的工作效率，高出我们之前的jsm-7000系列50%或以上，实现了生产量的显著提高。
特性 浸没式肖特基plus场发射电子枪
电子枪与低像差聚光透镜的进一步整合带来更高的亮度。低加速电压下具有足够的探头电流，支持从高分辨率成像到高速元素映射的各种功能。
混合式透镜（hl）
混合式透镜（hl）将静电场镜和磁场透镜相结合，支持各种样品的高空间分辨率成像和分析。
neo engine（新型电子光学引擎）
neo engine是一款先进的电子光学控制系统，可显著提高自动化功能的精确度和可操作性。
“sem center”新功能
全新gui “sem center”全面整合sem成像和eds分析，提供借助fe-sem实现的下一代可操作性和高分辨率图像。
“zeromag”新功能
整合的“zeromag”可实现从光学成像到sem成像的无缝过渡，让定位目标样品区域变得十分轻松。
全新live-ai滤镜*
通过利用人工智能（ai）功能，整合的live-ai滤镜可以提供更高质量的实时图像。与图像融合处理不同，这款新的滤镜能够显示无缝移动的实时图像，无残留图像，对于快速搜索观察区域、对焦和消像散器调整十分有效。
*选配
规格 分辨率(1 kv) 1.3纳米
分辨率(20 kv) 0.9纳米
加速电压 0.01至30 kv
标准检测器 高位电子检测器(ued)，二次电子检测器(sed)
电子枪 浸没式肖特基plus场发射电子枪
探头电流 几pa至300 na (30 kv)
几pa至100 na (5 kv)
物镜 混合式透镜(hl)
样品台 全优中心(eucentric)测角仪样品台
样品移动 x轴：70毫米，y轴：50毫米，z轴：2至41毫米
倾斜： –5至70°，旋转：360°
eds检测器 能量分辨率：133 ev或更低
可检测元素：b（硼）至u（铀）
检测面积：60平方毫米
目标年销量 60台/年
日本电子株式会社
3-1-2， musashino， akishima， tokyo， 196-8558， japan
大井泉，总裁兼首席运营官
（股票代码：6951，东京证券交易所第一部）
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特性 浸没式肖特基plus场发射电子枪
电子枪与低像差聚光透镜的进一步整合带来更高的亮度。低加速电压下具有足够的探头电流，支持从高分辨率成像到高速元素映射的各种功能。
混合式透镜（hl）
混合式透镜（hl）将静电场镜和磁场透镜相结合，支持各种样品的高空间分辨率成像和分析。
neo engine（新型电子光学引擎）
neo engine是一款先进的电子光学控制系统，可显著提高自动化功能的精确度和可操作性。
“sem center”新功能
全新gui “sem center”全面整合sem成像和eds分析，提供借助fe-sem实现的下一代可操作性和高分辨率图像。
“zeromag”新功能
整合的“zeromag”可实现从光学成像到sem成像的无缝过渡，让定位目标样品区域变得十分轻松。
全新live-ai滤镜*
通过利用人工智能（ai）功能，整合的live-ai滤镜可以提供更高质量的实时图像。与图像融合处理不同，这款新的滤镜能够显示无缝移动的实时图像，无残留图像，对于快速搜索观察区域、对焦和消像散器调整十分有效。
*选配
规格 分辨率(1 kv) 1.3纳米
分辨率(20 kv) 0.9纳米
加速电压 0.01至30 kv
标准检测器 高位电子检测器(ued)，二次电子检测器(sed)
电子枪 浸没式肖特基plus场发射电子枪
探头电流 几pa至300 na (30 kv)
几pa至100 na (5 kv)
物镜 混合式透镜(hl)
样品台 全优中心(eucentric)测角仪样品台
样品移动 x轴：70毫米，y轴：50毫米，z轴：2至41毫米
倾斜： –5至70°，旋转：360°
eds检测器 能量分辨率：133 ev或更低
可检测元素：b（硼）至u（铀）
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