如何验证白光干涉仪精度丨科普篇
粗糙度、台阶高度是白光干涉仪最擅长的测量工作。
小优博士也重点说明过在此类测量应用的优势。
白光干涉的超高精度，会让很多评估者无从下手。
怎么验证一台白光干涉仪的高度测量能力？
小优博士给您支招。
非常简单！
只需准备“sic硅片” 和 “标准台阶块”
15分钟验证3大参数即可！
a、rms重复性
b、台阶重复性、台阶准度
c、扫描量程、扫描速度
一、rms重复性
rms重复性：iso 25178 标准下，测量两次sic表面粗糙度sq；
取sq/√2 的差值，或30取1σ的平均偏差。
（图1 sic晶圆）
二、台阶重复性、准度
台阶重复性：测量标准台阶高度的重复偏差；
一般测量30次，取1σ的极值偏差/平均值。
台阶准度：测量值相对标准值的偏差；
一般测量30次，取1σ的标准偏差/标准值。
（图2 标准台阶块）
三、扫描量程、速度
硬件“压电陶瓷“直接决定了量程和速度；
验证方法:实测样品确定量程，使用秒表计算时间。
====
普通实验室环境下
小优博士使用优可测atometrics白光干涉仪er-230进行实验。
↓ ↓
（图3 对sic标准片进行30次粗糙度sq，取1σ的标准偏差）
rms重复性0.005nm
--
（图4 对12μm马尔标准块进行30次高度测量）
取1σ的极值偏差/平均值，台阶高度重复性0.07%
取1σ的平均值/标准值，台阶高度准确性0.3%
--
（图5 对接近5000μm的产品进行扫描）
高度 4815μm
（图5 记录扫描时间）
扫描速度400μm/s
15分钟验证完毕，此技巧你掌握了么
百度“云+AI” 2019标杆案例盘点 企业可以开启寻宝之旅
门禁企业如何打响这场疫情防控“战”？
机器学习的6个关键概念
金融借助人工智能颠覆性重塑金融业
看得到科技、看不到体验！Leader为用户带来智慧洗护生活
如何验证白光干涉仪精度丨科普篇
稳定时间电路的修正过程
气压传感器MS4525DO-DS3BS005DS空速管测量风速
节约电费，使用合适的电表很重要
MVME8100单板计算机，高端工业控制系统的利器
用于SiGe外延生长的湿法清洗序列
一文看懂功能安全和信息安全的区别
创新实验室开发的基于AI的新系统的工作方式
A/D转换器的电路结构和工作原理
智慧工地AI机器人实现无接触测温
可燃气体与有毒气体探测器的设置应符合哪些规定
数字化转型知识方法系列之：数字化转型的基本认识与参考架构
智能电表怎样查用电量 智能电表哪个是剩余电量
水货笔记本局域网访问受阻
如何使用Python控制Arduino开发板
小优博士也重点说明过在此类测量应用的优势。
白光干涉的超高精度，会让很多评估者无从下手。
怎么验证一台白光干涉仪的高度测量能力？
小优博士给您支招。
非常简单！
只需准备“sic硅片” 和 “标准台阶块”
15分钟验证3大参数即可！
a、rms重复性
b、台阶重复性、台阶准度
c、扫描量程、扫描速度
一、rms重复性
rms重复性：iso 25178 标准下，测量两次sic表面粗糙度sq；
取sq/√2 的差值，或30取1σ的平均偏差。
（图1 sic晶圆）
二、台阶重复性、准度
台阶重复性：测量标准台阶高度的重复偏差；
一般测量30次，取1σ的极值偏差/平均值。
台阶准度：测量值相对标准值的偏差；
一般测量30次，取1σ的标准偏差/标准值。
（图2 标准台阶块）
三、扫描量程、速度
硬件“压电陶瓷“直接决定了量程和速度；
验证方法:实测样品确定量程，使用秒表计算时间。
====
普通实验室环境下
小优博士使用优可测atometrics白光干涉仪er-230进行实验。
↓ ↓
（图3 对sic标准片进行30次粗糙度sq，取1σ的标准偏差）
rms重复性0.005nm
--
（图4 对12μm马尔标准块进行30次高度测量）
取1σ的极值偏差/平均值，台阶高度重复性0.07%
取1σ的平均值/标准值，台阶高度准确性0.3%
--
（图5 对接近5000μm的产品进行扫描）
高度 4815μm
（图5 记录扫描时间）
扫描速度400μm/s
15分钟验证完毕，此技巧你掌握了么
百度“云+AI” 2019标杆案例盘点 企业可以开启寻宝之旅
门禁企业如何打响这场疫情防控“战”？
机器学习的6个关键概念
金融借助人工智能颠覆性重塑金融业
看得到科技、看不到体验！Leader为用户带来智慧洗护生活
如何验证白光干涉仪精度丨科普篇
稳定时间电路的修正过程
气压传感器MS4525DO-DS3BS005DS空速管测量风速
节约电费，使用合适的电表很重要
MVME8100单板计算机，高端工业控制系统的利器
用于SiGe外延生长的湿法清洗序列
一文看懂功能安全和信息安全的区别
创新实验室开发的基于AI的新系统的工作方式
A/D转换器的电路结构和工作原理
智慧工地AI机器人实现无接触测温
可燃气体与有毒气体探测器的设置应符合哪些规定
数字化转型知识方法系列之：数字化转型的基本认识与参考架构
智能电表怎样查用电量 智能电表哪个是剩余电量
水货笔记本局域网访问受阻
如何使用Python控制Arduino开发板