集成电路从电子管到超大规模集成电路的方向发展,ic集成度越高,伴随对封装技术的要求也是越发的精细化。划片机是ic封装生产过程中的关键设备之一,用于将含有很多芯片的晶圆切割成一个个晶片颗粒,其切割加工能力一定程度上决定了芯片封装的成品率与性能。ic晶圆,一般由硅(si)构成,分为6英寸、8英寸、12英寸规格不等,晶片就是基于wafer制造而成。ic需要将wafer上的一个子单元即一个晶片颗粒从晶圆体上分割得到。
ic封装简介
fol– front of line前段工艺
必不可少的工艺流程
通过流程可以看出,wafer并非成品ic芯片,需要经过一系列复杂工艺流程去完成,切割是必须工艺。
一直以来,相关领域都由国外垄断,对中国半导体行业进行技术封锁,由于市场的需求,经过行业的不断努力,国产wafer设备已经有很大进步,陆芯的产品现已完全可以替代进口设备。国产化的需求缺口在增大,市场蓝海属于掌握核心技术的团队。
wafer saw晶圆切割
将晶圆粘贴在蓝膜(mylar)上,使得即使被切割开后,不会散落;
通过saw blade将整片wafer切割成一个个独立的dice,方便后面的 die attach等工序;
wafer wash主要清洗saw时候产生的各种粉尘,清洁wafer;
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陆芯精密划片机:IC晶圆划片的封装工艺流程
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