MEMS发展迅猛，制定测量标准迫在眉睫
随着微机电系统（mems）快速拓展在消费产业中的应用，标準的mems元件测量方法有助提高mems元件测试效率，减少成本和测试时间，并促进不同制造商之间的产品互通性。美国国家标準与技术研究院（nist）稍早前推出新的测量工具，能协助mems元件设计师、制造商测量mems元件的关键8维参数和材料特性。
mems最初的主要应用是汽车安全气囊的加速度计，而今它已扩展到广大的消电子市场，特别是高阶智慧手机，平均每一部智慧手机使用10颗mems元件，包括麦克风、加速度感测器和陀螺仪等。另外，mems元件也已经在平板电脑、游戏机、晶片实验室诊断系统、显示器和植入式医疗设备中扮演重要角色。据市调公司yole预估，全球mems产业营将从2011年的100亿美元成长到2017年的210亿美元。
附图 ： 新的nist测试晶片能促进不同制造商之间的产品互通性。
nist开发的成果是全新的测试晶片（参考设备8096和8097），8096测试晶片採用ic制程生产，而8097测试晶片利用mems制程生产。据表示，新的nist参考设备是一种微机械结构，未来还将整合微型悬臂、樑、梯型构件、微米级尺度以及可用于测量表层厚度的测试结构。具体而言，nist的测试晶片可用于检测元件是否符合国际标準的测量弹性（即杨氏模量）、残余应变（应力）、应变（和应力）梯度，以及厚度、阶梯高度和长度。
nist 表示所有参数和材料特性的测量均符合国际半导体设备与材料协会（semi）和美国测试与材料协会（astm）的国际标準测试方法。新的测试晶片可对来自不同实验室或企业由不同设备制作的mems元件进行準确的比对，让实验室或企业更容易对制程和校準仪器进行特徵化和故障排除。
Diac教程特性及控制摘要
互联网电视，要怎么看？
美光科技获汽车级认证的动力总成
自动驾驶时代单打独斗很困难 整合正成为趋势
环氧封装胶与聚氨酯封装胶哪个更适合智能电表封装保护？
MEMS发展迅猛，制定测量标准迫在眉睫
二氧化碳检测仪的应用及功能
华为和中兴在美遭出局，马云：承诺还能实现吗？
专栏 | 深度学习在NLP中的运用？从分词、词性到机器翻译、对话系统
快捷半导体推出新型低功率LED驱动器整合MOSFET
微软宣布与NASSCOM FutureSkills建立合作关系
TD规模测试激活产业能量 商用版本三季推出
关于果实硬度计操作步骤的简单介绍
迈克尔逊干涉仪的应用
Tensilica灵活DSP亮相IIC，聚焦自主知识产权
吉时利仪器扩展S530参数测试系统量测能力
无人机教育助孩子养成严谨科学的学习态度
MS2581/MS2581M—低功耗 RS-422 接口电路
东方日升收购聚光硅业100％股权
双缸斯特林引擎发电机制作方法
mems最初的主要应用是汽车安全气囊的加速度计，而今它已扩展到广大的消电子市场，特别是高阶智慧手机，平均每一部智慧手机使用10颗mems元件，包括麦克风、加速度感测器和陀螺仪等。另外，mems元件也已经在平板电脑、游戏机、晶片实验室诊断系统、显示器和植入式医疗设备中扮演重要角色。据市调公司yole预估，全球mems产业营将从2011年的100亿美元成长到2017年的210亿美元。
附图 ： 新的nist测试晶片能促进不同制造商之间的产品互通性。
nist开发的成果是全新的测试晶片（参考设备8096和8097），8096测试晶片採用ic制程生产，而8097测试晶片利用mems制程生产。据表示，新的nist参考设备是一种微机械结构，未来还将整合微型悬臂、樑、梯型构件、微米级尺度以及可用于测量表层厚度的测试结构。具体而言，nist的测试晶片可用于检测元件是否符合国际标準的测量弹性（即杨氏模量）、残余应变（应力）、应变（和应力）梯度，以及厚度、阶梯高度和长度。
nist 表示所有参数和材料特性的测量均符合国际半导体设备与材料协会（semi）和美国测试与材料协会（astm）的国际标準测试方法。新的测试晶片可对来自不同实验室或企业由不同设备制作的mems元件进行準确的比对，让实验室或企业更容易对制程和校準仪器进行特徵化和故障排除。
Diac教程特性及控制摘要
互联网电视，要怎么看？
美光科技获汽车级认证的动力总成
自动驾驶时代单打独斗很困难 整合正成为趋势
环氧封装胶与聚氨酯封装胶哪个更适合智能电表封装保护？
MEMS发展迅猛，制定测量标准迫在眉睫
二氧化碳检测仪的应用及功能
华为和中兴在美遭出局，马云：承诺还能实现吗？
专栏 | 深度学习在NLP中的运用？从分词、词性到机器翻译、对话系统
快捷半导体推出新型低功率LED驱动器整合MOSFET
微软宣布与NASSCOM FutureSkills建立合作关系
TD规模测试激活产业能量 商用版本三季推出
关于果实硬度计操作步骤的简单介绍
迈克尔逊干涉仪的应用
Tensilica灵活DSP亮相IIC，聚焦自主知识产权
吉时利仪器扩展S530参数测试系统量测能力
无人机教育助孩子养成严谨科学的学习态度
MS2581/MS2581M—低功耗 RS-422 接口电路
东方日升收购聚光硅业100％股权
双缸斯特林引擎发电机制作方法