MEMS是什么，MEMS的技术简介
mems全称micro electromechanical system（微机电系统），是一种通常在硅晶圆上以ic工艺制备的微机电系统，微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。
生活中有哪些mems器件？
第一个可转动的mems马达于1988年诞生于加州大学伯克利分校，如图1所示；之后于1989年，美国桑迪亚国家实验室研制了第一个横向梳齿驱动器，微机械结构可以在垂直于表面的方向移动。
图．1 加州大学伯克利分校研制的第一个可转动的mems马达
图．2 美国桑迪亚国家实验室研制的第一个横向梳齿驱动器
经过30年的发展，mems器件已经渗透于我们的生活之中。转屏是智能手机中的一项基本功能，如图．3所示，这项功能是通过mems陀螺仪来实现的。图．4展示了传统机械陀螺仪与mems陀螺仪的对比，后者比前者小得多，因而得以在智能手机和平板电脑中广泛应用。如图．5所示，出于安全考虑，气囊是汽车中的必备装备，它们会在发生撞车时自动充气膨胀，保护乘客的安全。安全气囊对撞车事件的迅速检测得益于其中的mems器件，图．6展示了mems加速度计的芯片结构。用于传感检测的mems芯片和用于控制的ic芯片通常混合集成在一个壳体里面。此外，mems技术在生活中的其他应用包括mems麦克风、mems投影仪、mems压力传感器，等等。
图．3 mems陀螺仪在智能手机中的应用—转屏功能
图．4 传统的机械陀螺仪（左）与mems陀螺仪（右）
图．5 汽车中的安全气囊（内有mems器件）
紫光展锐与“中国芯”一同砥砺前行
如何有效地对电池进行保养从而延长电池寿命？
文科生如何抓住人工智能时代的发展红利
日产2019 Q2财报公布,未来的混动、纯电会给它带来什么样的支撑
REP038: MAX2648在5GHz WLAN中的应用
MEMS是什么，MEMS的技术简介
惠普推出搭载锐龙移动处理器的星14青春版，开售价3099元
高通发布参考设计生态系统计划 推两款双核芯片
通信业面临四大技术问题
太阳能光伏设备的无线解决方案
比亚迪将增资投建22GWH动力电池项目
小米6最新消息：小米6陷入“充电重启门”还有漏光、发热等问题，甩锅给骁龙835？
滑轨电视如何设计会更吸引人
华为公司发布轮值董事长公告
Imagination和Packetcraft 共同推出低功耗蓝牙音频解决方案
荣耀Magic2跑分曝光 将成为小米MIX3最强大的对手之一
DS2152, DS2154 Interfacing to
零跑汽车将计划完成25亿元的A轮融资
吴汉明以《后摩尔时代的芯片挑战和机遇》发表了演讲
中科曙光出席CCF(中国计算机学会)颁奖典礼
生活中有哪些mems器件？
第一个可转动的mems马达于1988年诞生于加州大学伯克利分校，如图1所示；之后于1989年，美国桑迪亚国家实验室研制了第一个横向梳齿驱动器，微机械结构可以在垂直于表面的方向移动。
图．1 加州大学伯克利分校研制的第一个可转动的mems马达
图．2 美国桑迪亚国家实验室研制的第一个横向梳齿驱动器
经过30年的发展，mems器件已经渗透于我们的生活之中。转屏是智能手机中的一项基本功能，如图．3所示，这项功能是通过mems陀螺仪来实现的。图．4展示了传统机械陀螺仪与mems陀螺仪的对比，后者比前者小得多，因而得以在智能手机和平板电脑中广泛应用。如图．5所示，出于安全考虑，气囊是汽车中的必备装备，它们会在发生撞车时自动充气膨胀，保护乘客的安全。安全气囊对撞车事件的迅速检测得益于其中的mems器件，图．6展示了mems加速度计的芯片结构。用于传感检测的mems芯片和用于控制的ic芯片通常混合集成在一个壳体里面。此外，mems技术在生活中的其他应用包括mems麦克风、mems投影仪、mems压力传感器，等等。
图．3 mems陀螺仪在智能手机中的应用—转屏功能
图．4 传统的机械陀螺仪（左）与mems陀螺仪（右）
图．5 汽车中的安全气囊（内有mems器件）
紫光展锐与“中国芯”一同砥砺前行
如何有效地对电池进行保养从而延长电池寿命？
文科生如何抓住人工智能时代的发展红利
日产2019 Q2财报公布,未来的混动、纯电会给它带来什么样的支撑
REP038: MAX2648在5GHz WLAN中的应用
MEMS是什么，MEMS的技术简介
惠普推出搭载锐龙移动处理器的星14青春版，开售价3099元
高通发布参考设计生态系统计划 推两款双核芯片
通信业面临四大技术问题
太阳能光伏设备的无线解决方案
比亚迪将增资投建22GWH动力电池项目
小米6最新消息：小米6陷入“充电重启门”还有漏光、发热等问题，甩锅给骁龙835？
滑轨电视如何设计会更吸引人
华为公司发布轮值董事长公告
Imagination和Packetcraft 共同推出低功耗蓝牙音频解决方案
荣耀Magic2跑分曝光 将成为小米MIX3最强大的对手之一
DS2152, DS2154 Interfacing to
零跑汽车将计划完成25亿元的A轮融资
吴汉明以《后摩尔时代的芯片挑战和机遇》发表了演讲
中科曙光出席CCF(中国计算机学会)颁奖典礼