中国首台ASML NXT2000i正式入驻SK海力士无锡工厂
12月19日晚间，中国首台asmlnxt2000i正式搬入sk海力士位于无锡的工厂。
据asml证实，此次入驻sk海力士无锡工厂确为nxt2000i，也即nxt2000。asml解释道，i是immersion的意思。nxt2000都是immersion的机器。所以nxt2000即nxt2000i。
据了解，无锡是sk海力士在中国的dram内存芯片生产基地，目前每月晶圆的产量约为14万片。
同时，sk海力士还成立了skhynixsystemic公司，开始进军晶圆代工市场，同时增加1000万美元投资，在无锡扩大模拟ic芯片业务。
今年8月份曾有消息表示，asml已经开始出货新品twinscannxt2000iduv（nxt2000i双工件台深紫外光刻机），可用于7nm和5nm节点。
nxt2000i将是nxe3400beuv光刻机的有效补充，毕竟台积电/gf的第一代7nm都是基于duv工艺。
同时，nxt2000i也成为了asml旗下套刻精度（overlay）最高的产品，达到了和3400b一样的1.9nm（5nm要求至少2.4nm，7nm要求至少3.5nm）。
当时asml只表示这款性能出众的光刻机将于本年度末正式量产，尚未确定光刻机的价格。根据媒体的估计，按照目前asml的定位，这款光刻机的定价应该在几千万至上亿美元之间。asml的3400beuv光刻机的报价是1.2亿美元一台，而14nm节点的光刻机报价则在7200万美元。
本文来源：集微网
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nxt2000i将是nxe3400beuv光刻机的有效补充，毕竟台积电/gf的第一代7nm都是基于duv工艺。
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当时asml只表示这款性能出众的光刻机将于本年度末正式量产，尚未确定光刻机的价格。根据媒体的估计，按照目前asml的定位，这款光刻机的定价应该在几千万至上亿美元之间。asml的3400beuv光刻机的报价是1.2亿美元一台，而14nm节点的光刻机报价则在7200万美元。
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