陆芯精密切割——精密划片机优势及工艺介绍
陆芯精密晶圆切割机优势
1.设备精准度高（0.0001mm）
2.切割精度1.5um
3.效率高
4.加工品种多样化（晶圆、陶瓷、玻璃、qfn/dfn、pcb基板等）
5.成本低（设备、加工耗材、设备保养维护）
6.环境要求低（普通千级无尘车间）
7.操作简单易懂易上手（对标disco）
8.售后服务好
9.机器交付周期短
常见切割品种及简单工艺介绍
一、bga/wafer类晶圆
切割刀片
sd1000n25mr0207 52d*0.048t*40h
膜型号
lintec
主轴转速
28000-30000rpm
切割水流量
blade 1.0-1.2l/min
shower 0.8-1.2l/min
校准方式
手动校准、自动校准
切割效率
8寸平均1h/片、12寸平均1.5h/片
二、二极管、三极管、mos管类硅片
切割刀片
zh05-sd4000-n1-70ba
膜型号
spv224
主轴转速
38000-50000rpm
切割水流量
blade 1.2-1.5l/min
shower 1.0-1.2l/min
校准方式
手动校准、自动校准
切割效率
4寸10min/片、6寸20min/片、8寸30min/片、12寸1h/片
三、氧化铝、碳化硅类陶瓷
切割刀片
sdc500-r75tnf 56d×0.15t×40h
膜型号
lintec
主轴转速
25000-35000rpm
切割水流量
blade 1.2-1.5l/min
shower 1.0-1.2l/min
校准方式
手动校准、自动校准
切割效率
平均30min/片
四、光学玻璃、浮法玻璃类
切割刀片
sd1000n25mr0207 56d*0.1t*40h
膜型号
lintec
主轴转速
28000-35000rpm
切割水流量
blade 0.8-1.0l/min
shower 1.0-1.2l/min
校准方式
手动校准、自动校准
切割效率
平均20min/片
五、qfn/dfn类
切割刀片
sdc320r01q 58d-0.3t-40h
膜型号
6360-15
主轴转速
21000rpm
切割水流量
blade 1.2-1.5l/min
shower 1.2-1.5l/min
校准方式
自动校准
切割效率
5-8min/条
六、pcb/mems基板类
切割刀片
d8/20-mds 56d-0.1t-40h2d/1w/16n
膜型号
6360-15
主轴转速
25000rpm
切割水流量
blade 1.2-1.5l/min
shower 1.2-1.5l/min
校准方式
自动校准
切割效率
5min/条
七、碳纤维板、玻璃纤维板类
切割刀片
d8/20-mds 56d-0.1t-40h2d/1w/16n
膜型号
6360-15
主轴转速
35000rpm
切割水流量
blade 1.2-1.5l/min
shower 1.2-1.5l/min
校准方式
手动校准、自动校准
切割效率
20min/片
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3.效率高
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5.成本低（设备、加工耗材、设备保养维护）
6.环境要求低（普通千级无尘车间）
7.操作简单易懂易上手（对标disco）
8.售后服务好
9.机器交付周期短
常见切割品种及简单工艺介绍
一、bga/wafer类晶圆
切割刀片
sd1000n25mr0207 52d*0.048t*40h
膜型号
lintec
主轴转速
28000-30000rpm
切割水流量
blade 1.0-1.2l/min
shower 0.8-1.2l/min
校准方式
手动校准、自动校准
切割效率
8寸平均1h/片、12寸平均1.5h/片
二、二极管、三极管、mos管类硅片
切割刀片
zh05-sd4000-n1-70ba
膜型号
spv224
主轴转速
38000-50000rpm
切割水流量
blade 1.2-1.5l/min
shower 1.0-1.2l/min
校准方式
手动校准、自动校准
切割效率
4寸10min/片、6寸20min/片、8寸30min/片、12寸1h/片
三、氧化铝、碳化硅类陶瓷
切割刀片
sdc500-r75tnf 56d×0.15t×40h
膜型号
lintec
主轴转速
25000-35000rpm
切割水流量
blade 1.2-1.5l/min
shower 1.0-1.2l/min
校准方式
手动校准、自动校准
切割效率
平均30min/片
四、光学玻璃、浮法玻璃类
切割刀片
sd1000n25mr0207 56d*0.1t*40h
膜型号
lintec
主轴转速
28000-35000rpm
切割水流量
blade 0.8-1.0l/min
shower 1.0-1.2l/min
校准方式
手动校准、自动校准
切割效率
平均20min/片
五、qfn/dfn类
切割刀片
sdc320r01q 58d-0.3t-40h
膜型号
6360-15
主轴转速
21000rpm
切割水流量
blade 1.2-1.5l/min
shower 1.2-1.5l/min
校准方式
自动校准
切割效率
5-8min/条
六、pcb/mems基板类
切割刀片
d8/20-mds 56d-0.1t-40h2d/1w/16n
膜型号
6360-15
主轴转速
25000rpm
切割水流量
blade 1.2-1.5l/min
shower 1.2-1.5l/min
校准方式
自动校准
切割效率
5min/条
七、碳纤维板、玻璃纤维板类
切割刀片
d8/20-mds 56d-0.1t-40h2d/1w/16n
膜型号
6360-15
主轴转速
35000rpm
切割水流量
blade 1.2-1.5l/min
shower 1.2-1.5l/min
校准方式
手动校准、自动校准
切割效率
20min/片
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