温度监测电源模块烧毁原因分析
半导体行业的生产设备有刻蚀、薄膜沉积、清洗、湿制、封装和测试、抛光、硅晶圆制造等，这些精密生产设备中有电气元器件、执行部件、监测控制仪器等，对供电的稳定性和质量要求很高。
某半导体单晶硅材料生产车间有很多的单晶炉，晶体在生长和拉制时对温度有严格要求，因此安装了智能高温在线测温仪，对生产期间的温度进行严格的监测和控制。
但是电源模块经常损坏，大多发生在工作流程快结束的几个小时工作区间内，而且损坏是随机的。
01
现场设备及供电情况：
高温智能在线测温仪
（1000-3200°c）
由于生产设备对供电质量要求很高，车间由两路ups供电，一路大约带100台原晶生产设备。
一路的负载是单纯的单晶炉，没有损坏现象。
另外一路，除了单晶炉，还带有机械泵等其他动力设备。
02
监测方案：
fluke 1777
电能质量分析仪
既然是损坏发生在工作流程快结束的几个小时，因此，请用户挑选了一台即将结束工作流程的设备，将一台电能质量分析仪fluke 1777连接在三相供电电源处，监测有没有发生过压和过流。
03
先对仪器做基本的设置：
测试了20多个小时，捕捉到了一次浪涌事件
出现了一次浪涌电流
04
浪涌电流详情如下：
正常工作时的电流不超过2a
因此触发阈值设置为4a
但是捕捉到的浪涌电流是正常工作电流的5倍多（10.43a）
05
浪涌发生时电压电流的趋势图
06
电流波形图
电流波形出现大的偏差时
电压波形没有畸变（右下角）
07
电压电流谐波
尽管含量较高，但是幅值很小，没问题！
08
后续建议
敏感精密测试仪器使用单独供电（稳定，波动小）
减小其他机械泵等负载启停对生产设备的影响
在测温仪24v供电前面增加一个隔离模块
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