国内首条MEMS工艺平台实现量产
“上海先进”(asmc/上海先进半导体制造股份有限公司)在mems(微机电系统)代工领域取得重大进展，在打造国内mems工艺生产平台的同时首条mems工艺生产线已进入量产。
“上海先进”mems 生产线可以代工的器件包括：三轴陀螺仪、加速度计、生物mems芯片、光学mems、rf mems、微流体开关、压力传感器等，可被广泛应用于消费电子，医疗电子以及汽车电子等领域。
目前，此mems生产线拥有世界最先进的深槽刻蚀、键合、硅片边缘修整等设备，设计月产量可达3000片;具有较大的适用范围，包括mems前道(不含可动离子沾污)和后道(包含可动离子沾污的玻璃工艺)工艺。前道工艺包括光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、扩散、离子注入以及薄膜等;后道工艺包括光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、扩散、薄膜、硅片键合、硅片减薄、边缘切割以及划片等。此外“上海先进”还拥有全部的工艺在线检测设备，具有在线缺陷检测能力以及用于器件测试的直、交流测试能力。
“上海先进”总裁谢志峰博士表示asmc会继续扩充mems器件的制造产能和工艺研发，以进一步增强服务mems器件客户的能力。
“超级功放王”D-200W模块
红外热像测温技术的原理、特点和应用研究
电子工程专业用得比较多的软件有哪些
三星s8国行版什么时候上市？三星s8最新消息：正真的机皇又如何是小米6能比拟的！
牛肉水分测试方法以及步骤
国内首条MEMS工艺平台实现量产
变频器调试从正确设置参数开始
海信推出RFID食材管理冰箱，实现独特的1+1》2的技术优势
无人机在医疗领域的实际应用
IT资源投入持续加大，产品化进程提速
2020年度，天宜锂业共生产氢氧化锂5000多吨
程序员发了意外横财后会用来做啥？
消费级路由器选购全攻略
高通完整5G解决方案支持行业伙伴 推动5G手机普及
KTV搭配全景VR技术带你嗨遍全场
为迎接即将到来的iPhone 12，新斯宝推出20W PD快充充电器
新品发布 | Semiware新推PLED系列LED开路保护器
TDK推出应用于工业控制领域高的新工艺传感器
LED灯光有恢复肌肉的功能有望治疗渐冻症等神经疾病患者的疾病
高通888/苹果A14/华为麒麟9000的区别对比分析
“上海先进”mems 生产线可以代工的器件包括：三轴陀螺仪、加速度计、生物mems芯片、光学mems、rf mems、微流体开关、压力传感器等，可被广泛应用于消费电子，医疗电子以及汽车电子等领域。
目前，此mems生产线拥有世界最先进的深槽刻蚀、键合、硅片边缘修整等设备，设计月产量可达3000片;具有较大的适用范围，包括mems前道(不含可动离子沾污)和后道(包含可动离子沾污的玻璃工艺)工艺。前道工艺包括光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、扩散、离子注入以及薄膜等;后道工艺包括光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、扩散、薄膜、硅片键合、硅片减薄、边缘切割以及划片等。此外“上海先进”还拥有全部的工艺在线检测设备，具有在线缺陷检测能力以及用于器件测试的直、交流测试能力。
“上海先进”总裁谢志峰博士表示asmc会继续扩充mems器件的制造产能和工艺研发，以进一步增强服务mems器件客户的能力。
“超级功放王”D-200W模块
红外热像测温技术的原理、特点和应用研究
电子工程专业用得比较多的软件有哪些
三星s8国行版什么时候上市？三星s8最新消息：正真的机皇又如何是小米6能比拟的！
牛肉水分测试方法以及步骤
国内首条MEMS工艺平台实现量产
变频器调试从正确设置参数开始
海信推出RFID食材管理冰箱，实现独特的1+1》2的技术优势
无人机在医疗领域的实际应用
IT资源投入持续加大，产品化进程提速
2020年度，天宜锂业共生产氢氧化锂5000多吨
程序员发了意外横财后会用来做啥？
消费级路由器选购全攻略
高通完整5G解决方案支持行业伙伴 推动5G手机普及
KTV搭配全景VR技术带你嗨遍全场
为迎接即将到来的iPhone 12，新斯宝推出20W PD快充充电器
新品发布 | Semiware新推PLED系列LED开路保护器
TDK推出应用于工业控制领域高的新工艺传感器
LED灯光有恢复肌肉的功能有望治疗渐冻症等神经疾病患者的疾病
高通888/苹果A14/华为麒麟9000的区别对比分析