晶圆模块捆绑在一起的新型铜CMP工艺
应用材料公司今天为其mirra mesa化学机械平面化（cmp）推出了两种新的铜工艺它表示支持全系列双大马士革芯片集成方案。
mirra mesa工艺与applied的endura屏障/种子和electra机电电镀系统集成，作为捆绑的一部分 - applied正在追求的模块策略（见4月5日的故事）。应用材料公司cmp产品组副总裁兼总经理克里斯史密斯说：“这套设备让客户有机会购买预先集成的互连解决方案，帮助他们快速扩大工厂的铜制造量。”
首次快速去除铜材料后，客户可以选择非选择性或选择性工艺来抛光阻隔薄膜，这取决于他们的双大马士革整合策略，该公司表示。非选择性工艺采用新的成本效益方法去除阻挡膜，以及未加盖的介电材料，如氧化物，氟化硅酸盐玻璃（fsg）和黑钻石膜。
选择性cmp工艺旨在平坦化并保留用于封顶低k电介质应用的顶部介电层。这两种解决方案都可以简化工艺流程，无需额外的电介质抛光步骤，从而降低制造成本。
“铜cmp是芯片制造商面临的最关键挑战之一，”史密斯说。 “将我们的下一代铜工艺与mirra mesa系统的多板结构，先进的抛光头技术以及我们新的fullscan端点技术相结合，为体积铜生产创造了一种高生产率的抛光工具。”
fullscan端点技术可精确识别整个晶圆上的薄膜去除点。结合工艺顺序，这可以最大限度地减少铜布线结构的凹陷和腐蚀，创造出创建多层互连所需的平面表面形貌，smith解释道。
系统的铜工艺已经过特性测试和测试缺陷水平。该系统的mesa集成式cmp后清洗站采用超声波清洗技术和双面刷洗，有助于抵抗腐蚀，去除晶圆两侧的颗粒和浆料残留物，包括非常小的凹陷特征和难以倾斜的区域。
国产突破，进军300mm大硅片，逆周期能否赶上回暖东风
华为2017年中国区收入3051亿元 增长近30%占比过半
洲明科技全面布局Mini/Micro LED直显产业
全球最好的芯片公司
数据中心的智能应用不断扩大，正在采用人工智能来实现自动化运维
晶圆模块捆绑在一起的新型铜CMP工艺
STAF-2400-T-01环境监控电子标签的特点说明
中电信启动第三次全国宽带大提速 家庭网推广100M
ADI ADRF5020 30GHz RF开关解决方案
力矩电机的优缺点_力矩电机的应用
华为目前无法从Google和Android二重奏中受益
估值大幅缩水之际 比克动力股权生变
AI+5G+智能锁将引领智能家居新生活
为什么说选择OLED设备就等于选择了健康
HTCU11EYEs评测 常规方面表现都是中规中矩
Fitbit为什么要撤出中国
遨博机器人具备什么样的实力？
蓝牙5.0拓展更多新零售中的应用场景
中美贸易的战火仍在蔓延 台湾ICT产业受冲击
房产服务平台营销和服务如何借助机器人的力量
mirra mesa工艺与applied的endura屏障/种子和electra机电电镀系统集成，作为捆绑的一部分 - applied正在追求的模块策略（见4月5日的故事）。应用材料公司cmp产品组副总裁兼总经理克里斯史密斯说：“这套设备让客户有机会购买预先集成的互连解决方案，帮助他们快速扩大工厂的铜制造量。”
首次快速去除铜材料后，客户可以选择非选择性或选择性工艺来抛光阻隔薄膜，这取决于他们的双大马士革整合策略，该公司表示。非选择性工艺采用新的成本效益方法去除阻挡膜，以及未加盖的介电材料，如氧化物，氟化硅酸盐玻璃（fsg）和黑钻石膜。
选择性cmp工艺旨在平坦化并保留用于封顶低k电介质应用的顶部介电层。这两种解决方案都可以简化工艺流程，无需额外的电介质抛光步骤，从而降低制造成本。
“铜cmp是芯片制造商面临的最关键挑战之一，”史密斯说。 “将我们的下一代铜工艺与mirra mesa系统的多板结构，先进的抛光头技术以及我们新的fullscan端点技术相结合，为体积铜生产创造了一种高生产率的抛光工具。”
fullscan端点技术可精确识别整个晶圆上的薄膜去除点。结合工艺顺序，这可以最大限度地减少铜布线结构的凹陷和腐蚀，创造出创建多层互连所需的平面表面形貌，smith解释道。
系统的铜工艺已经过特性测试和测试缺陷水平。该系统的mesa集成式cmp后清洗站采用超声波清洗技术和双面刷洗，有助于抵抗腐蚀，去除晶圆两侧的颗粒和浆料残留物，包括非常小的凹陷特征和难以倾斜的区域。
国产突破，进军300mm大硅片，逆周期能否赶上回暖东风
华为2017年中国区收入3051亿元 增长近30%占比过半
洲明科技全面布局Mini/Micro LED直显产业
全球最好的芯片公司
数据中心的智能应用不断扩大，正在采用人工智能来实现自动化运维
晶圆模块捆绑在一起的新型铜CMP工艺
STAF-2400-T-01环境监控电子标签的特点说明
中电信启动第三次全国宽带大提速 家庭网推广100M
ADI ADRF5020 30GHz RF开关解决方案
力矩电机的优缺点_力矩电机的应用
华为目前无法从Google和Android二重奏中受益
估值大幅缩水之际 比克动力股权生变
AI+5G+智能锁将引领智能家居新生活
为什么说选择OLED设备就等于选择了健康
HTCU11EYEs评测 常规方面表现都是中规中矩
Fitbit为什么要撤出中国
遨博机器人具备什么样的实力？
蓝牙5.0拓展更多新零售中的应用场景
中美贸易的战火仍在蔓延 台湾ICT产业受冲击
房产服务平台营销和服务如何借助机器人的力量