从模拟电路的角度谈谈静电保护

这期文章,作者君想从模拟电路的角度,给大家讲讲一个对于模拟工程师来说,既熟悉又有点陌生的内容:esd electrostatic discharge, 也就是所谓的“静电保护”。
wikipedia里面是这样定义的:electrostatic discharge (esd) is the sudden flow of electricity between two electrically charged objects caused by contact。翻译过来呢,就是指两个储存有电荷的物体相互接触时候产生的瞬时电流。
最近作者君做的项目呢,对于esd的要求比较严格,就经常和一个esd部门的哥们讨论学习一下。他告诉我说,esd可以在任何地方发生,无论是制造,生产,装配,测试,甚至运输及现场应用。当时我就有一种想放弃治疗的想法。。。。
那么,问题来了,我们怎么在电路中对其进行模拟并仿真呢?一般我们熟悉并且在电路仿真里面需要用到的模型有两种:cdm和hbm.
cdm就是所谓的charge device model,hbm就是所谓的human body model。
两者对比可以看出,一般来说cdm的电流比hbm的电流大一些、也快一些,因为并无较大的电阻在放电通路上面限制放电的过程。
因此,在esd的仿真中,需要在supply上添加这样一个pulse电压。例如在某个工艺情况里:cdm情况下,supply上面需要加入一个高达15v的pulse,上升沿和下降沿都是200ps,持续4ns。而在hbm的情况下,这个pulse的peak电压仅仅只是6v,上升沿和下降沿是2ns,持续时间400ns。
这里插入一句那个哥们的话:“我们就是计算这种 secondary 的esd的相关数值给你们用的啦。”说罢,事了拂衣去,深藏身与名。。。(说白了就是不告诉你怎么算,气死你……)
等等,为什么上来就说到了secondary esd protection呢?既然有secondary esdprotection,那primary esd protection在哪里呢?
我们熟悉的io结构,那种上下各有一个diode的pad,就是primary esd protection:
通用型的带esd保护的io 比如hbm模型里面,io被加上一个+2000v的高压,则上面的diode d1就自然导通了,外界的高压顺着vddp被迅速导走。同理,若是加上一个-2000v的高压,d2就导通了,大电流从vssp快速流向io,也未伤及内部的电路。
在这里,作者君想问大家一个问题:vddp和vssp都是给io的diode们提供偏置的supply。那么vddp和vssp的io 又当是怎么样的呢?还能上下各放一个diode吗?
快速思考一秒后……
肯定不能是这样的嘛!感觉就是不能这样……
那没有了上下两个diode,要如何保护vddp和vssp的io呢?
嘿嘿,不如去看看vddp和vssp的io电路好了!
包括了io的esd protection的pad模型 因此,此处应当有另外的esd保护电路在vddp的io和vssp的io之间。比如vddp被加上+2000v的高压时,通过这个esd diode快速导走高压电流。而当vddp是0,而vssp被加上+2000v的高压时,这个……
等等,容在下先想想,这里有两个方向相反的diode吗?
……
一秒后。
如果vssp被加上了+2000v,那么岂不是所有的io都挺热闹了?
为什么这么说?
嘿嘿,所有的nwell都是被vddp给biased成为0v,而substrate因为vssp变成了2000v,那么,岂不是所有的nwell和sub之间的寄生diode都被打开了?
哇!想想看,听起来好欢乐的场景啊!
然后,作者君听说,还有一个所谓的“1 ohm”原则,据说是从io到那些esd diode之间的导通电阻必须要小于1 ohm,以免寄生电阻太大,影响了快速放电的效果,避免有些“漏网之鱼”流到内部电路里面去了。所以大家若是仔细看看io的版图,会发现那里metal真是密密麻麻的,“无所不用其极”。
最后,再多说一个小的电路(懒得画图,所以拿来借用一下):
这也是一个esd的保护电路。为什么要说这个呢?因为作者君昨天刚刚被要求在自己内部的电路上面加一个nmos的switch,这个nmos的gate就是图中a点。而且被人告知,这也是secondary esd protection。(请大家注意,这个fig.1是io的一部分,那个大的nmos mclamp并不是内部电路。这里是在说内部电路可以使用io的内部节点进行控制)
我们简单分析一下:如果vdd上面有高压pulse的时候,因为电容的电压滞后作用,电容上面的电压并没有跟着vdd迅速提高。因此此时mp的gate电压值比source小了不少,导致mp导通,a点也被连到了vdd上面,巨大size的mclamp被打开,vdd和vss通过mclamp连在了一起。这样一来,vdd上面的pulse就这样被巨大的mclamp给导走了,因此,我们脆弱的内部电路也就被保护了起来。
再回到作者君被要求加switch的地方。那个nmos的switch其实类似于一个power down的功能,只是被图中的a点控制着。当出现很严峻的esd event的时候,内部电路能关断的赶紧关断,千万不能给esd的大电流有可乘之机。
最后推荐大家一篇博士论文:http://www-tcad.stanford.edu/tcad/pubs/theses/shuqingcao.pdftp://http://www-tcad.stanford.edu/tcad/pubs/theses/shuqingcao.pdf
这篇论文里面还很详细的讲了随着工艺的缩小,所谓的esd design window是如何越来越小的。因为gate oxide的尺寸越来越小,gate的击穿电压也会变小,esd protection的可以使用的范围也越来越小。听起来真是很可怜!
据作者君的比较,0.18um的io和28nm的io大小并无很大区别(甚至28nm的似乎看起来更大一些)。花了那么多力气减小工艺尺寸,即使内部电路变小,却被io的面积给瓶颈了。这真是个悲伤的故事啊!
最后多说一句:esd经常跟leakage之间需要tradeoff。esd diode太大,protection变好,leakage却会变得比较恶劣,影响正常工作时的性能。需要使用的时候权衡利弊。

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