ASML推出第一代HMI多光束检测机HMI，5nm晶圆产能提高600%
5月29日消息，提到荷兰asml公司，大家都知道他们是全球唯一的euv光刻机供应商，7nm及以下的工艺生产都要靠他们的设备。不过asml不只是光刻机厉害，今天他们宣布了另外一个新产品——第一代hmi多光束检测机hmi escan1000，适用于5nm及更先进工艺，使得产能大涨600%。
随着制程工艺不断提升，晶圆的制造也越来越复杂，这也会导致晶圆中的错误更多，hmi escan1000就是一套基于hmi多光束技术的检测系统，内部也有复杂的光电子系统，能够产生、控制多个电子束，然后根据反射回来的电子束成像来分析晶圆质量，并有高速运行的平台以控制测试的晶圆数量，还要有计算系统处理电子束的数据。
简单来说，asml研发的这个hmi escan1000机器就是一台验证先进工艺生产出来的晶圆质量的系统，工艺越先进，检测系统就越重要，它的检测精度、吞吐量决定了生产的效率。
asml的hmi escan1000的突破之处在于能够同时产生、控制九道电子束，所以产能提升了600%，可以大大减少晶圆质量分析所用的时间。
作为制造芯片的核心器件，光刻机自然是重中之重，而一款性能出众的光刻机也是制造高性能芯片的必要条件，而在光刻机领域尤其是高端光刻机，目前基本上被asml所垄断，而asml也提供给包括英特尔、台积电以及三星等晶圆代工厂提供最新的euv光刻机。目前随着技术的进步，越来越多的晶圆代工厂商开始研发和量产5nm工艺，如今asml宣布将会采用全新的技术，从而让5nm晶圆的产品成倍提升。
在业界，asml垄断了7nm及以下芯片制造的设备供应，全世界的芯片业巨头、代工厂商都只能购买这家公司的设备，才能给全世界带来最顶级的芯片产品。而伴随着制程工艺的持续提升，晶圆制造的过程也愈发复杂，生产过程中的错误也变得越来也多，而asml刚刚发布的hmi escan1000就是一套基于hmi多光束技术的高科技监测系统。
据了解，这套设备的内部拥有极其复杂的光电子系统，自身就能批量产生和控制电子束，然后根据反射回来得电子束成像来分析生产中得景园质量。另外，它还高速运行的平台和计算系统，可以精确地控制与处理测试晶圆的数量、电子束的数据。
总得来说，asml刚刚发布的这台hmi escan1000就是一台顶级晶圆质量检测系统。在芯片领域中，制造工艺越先进，对检测系统的需求就越高，它的精度和吞吐量都会直接影响最终的生产效率。
值得一提的是，hmi escan1000较以往取得了明显的突破：它能同时产生和控制九道电子光束，可以直接提升产能达600%，大大减少了晶圆质量分析所耗费的时间成本。目前hmi escan1000可以用于5nm及以下先进工艺的晶圆测试，已经交付给客户进行测试验证，未来asml还会推出光束更多的测试设备以满足客户对先进工艺的要求。
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asml的hmi escan1000的突破之处在于能够同时产生、控制九道电子束，所以产能提升了600%，可以大大减少晶圆质量分析所用的时间。
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总得来说，asml刚刚发布的这台hmi escan1000就是一台顶级晶圆质量检测系统。在芯片领域中，制造工艺越先进，对检测系统的需求就越高，它的精度和吞吐量都会直接影响最终的生产效率。
值得一提的是，hmi escan1000较以往取得了明显的突破：它能同时产生和控制九道电子光束，可以直接提升产能达600%，大大减少了晶圆质量分析所耗费的时间成本。目前hmi escan1000可以用于5nm及以下先进工艺的晶圆测试，已经交付给客户进行测试验证，未来asml还会推出光束更多的测试设备以满足客户对先进工艺的要求。
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