SOI先进工艺发展如此迅速的原因在哪?

中国至少已浮出三家晶圆厂将采用soi工艺先进制程。根据marketsandmarkets 最新预估,soi市场在2022年市场价值将达18.6亿美元,2017-2022年期间平均复合成长率将达29.1%。其中,亚太区晶圆厂将是主力客户。
soi之所以能快速增长,主要来自消费类电子市场增长、成本下降以及芯片对于低工耗功能的需求快速攀升。尤其来自12吋晶圆的需求将于2022成为soi最大的市场。
许多亚太区客户正在大量采用soi工艺制程生产芯片,其芯片还涵盖消费类芯片、智能手机客户以及资通讯预料也是soi在2017-2022年之间成长最快的市场。ic客户博通(broadcom)、 qorvo、高通( qualcomm)、murata也在计划启动12吋芯片投产计划。
前不久落户成都的globalfoundries晶圆厂使用22nm fd-soi工艺,可以把电压做到0.4v,非常适合移动、iot物联网芯片等低功耗,而且成本低廉,这是gf主攻fd-soi工艺的原因。
上海华力微电子去年底宣布投资387亿元建设第二座12吋晶圆厂,工艺路线是28nm、20nm及14nm finfet,月产能4万片晶圆,预计2018年试产,2022年量产。但其二期晶圆厂有可能采用fd-soi工艺。
同样是位于上海的新傲2015年就开始生产8吋soi工艺了,使用的是法国soitec的smart cut技术。新傲科技正在规划量产12吋rfsoi晶圆。
中国的上海硅产业投资有限公司则于2016年收购14.5%的soitec股权。其任务是建立半导体材料产业生态系统,聚焦于超越摩尔定律。也被视为是布局soi的重要举措。
fd-soi与finfet工艺的孰优孰劣很难一言而尽,先进逻辑工艺自28纳米节点分野之后,finfet与fd-soi工艺的争论就开始出现。尽管finfet目前占据上风,但fd-soi也有可取之处,特别是在低功耗方面。finfet的主要支持者是英特尔、台积电、中芯国际、联电;fd-soi主要是ibm、st意法半导体、三星、globalfoundries等。
其实finfet与fd-soi。两种技术其实师出同门,两种技术都是由台积电前技术长胡正明发明。不过,它们在半导体厂商中的受追捧程度不同。

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