上海伯东光刻机氦质谱检漏法
上海伯东客户日本某生产半导体用光刻机公司, 光刻机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成光刻机的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使用要求, 为了方便进行快速检漏, 采购伯东 pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 asm 310.
光刻机检漏方法: 采用真空模式检漏, 漏率值设定为 1x10-11pa m3/s.
1. 通过波纹管与光刻机真空系统连接
2. 使用喷枪, 喷扫管路, 腔体焊缝, 接头等部位, 如果存在超过设定漏率值的狭缝, 检漏仪会时时发出声光报警, 同时在屏幕上显示漏率值.
便携式氦质谱检漏仪 asm 310 主要技术参数：
对氦气的最小检测漏率 真空模式 5e-13 pa m3/s ,吸枪模式 1e-8 pa m3/s
检测模式 真空模式和吸枪模式
检漏方法>>
氦质谱检漏仪无油前级泵抽速 1.7 m3/h
检测气体 4he , 3he, h2
响应时间 <1s
对氦气的抽气速度 1.1 l/s
氦质谱检漏仪进气法兰 dn 25 iso-kf
进气口最大压力 15 hpa
通讯接口 rs-232
工作温度 10-40 °c
噪音水平 < 45 db (a)
尺寸 350 x 245 x 141 mm
重量 21 kg (46 lb)
鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解光刻机检漏, 请联络上海伯东叶女士
现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士
上海伯东版权所有, 翻拷必究！
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2. 使用喷枪, 喷扫管路, 腔体焊缝, 接头等部位, 如果存在超过设定漏率值的狭缝, 检漏仪会时时发出声光报警, 同时在屏幕上显示漏率值.
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