分析一个电路因WPE效应挂掉的案例

今天分享一个后仿真发现电路fail掉的一个案例。
首先简单介绍一下什么是wpe效应。
工艺中,有一些物理效应,这些物理效应在以前的老工艺中,比如180nm之前,影响基本可以忽略不计,因此老工艺设计中不会去关心这些效应。但是随着工艺的先进,这些物理效应造成的器件性能的影响占比越来越大,不可忽略,以至于导致芯片fail。foundry会在pdk中将这些物理效应建模进去,但是designer和layouter在设计电路的时候,也要考虑这些效应,以保证电路可靠性。
这些物理效应包括:
wpe: well proximity effect阱临近效应
lod: length of diffusion扩散区长度效应
ose: od space effect扩散区/有源区间距效应
pse: poly space effect栅间距效应
其中,wpe效应就是阱临近效应,指器件靠近阱(well)引起的参数发生偏离,从而影响器件的性能。在普通的单阱工艺中,只有pmos有此效应;在双阱工艺中,pmos和nmos都有此效应。
wpe参数主要有三个:sca、scb、scc。这三个参数在bsim4模型中的定义如下:
看似很难懂,其实也不用过多care这些参数的具体含义,简单说,就是wpe的这三个参数很重要,在前仿真和后仿真不应该差别过大,否则会引起mos的电流、vth等参数产生很大影响,继而影响电路整体功能。
该案例主要说明版图中tg layer对wpe参数的影响(tg是tripple gate,主要标识高压device,栅氧化层更厚)。
以一个简单的电流镜为例,说明layout改变wpe参数对输出电流iout的影响。testbench中输入电流iin给定20na,电流镜是2:1的copy rate。两个mos的w/l=1u/10u.理论上iout为10na。
电路图中两个mos的wpe参数,网表显示均如下图右图所示,前仿真结果如左图,输出电流iout大小为10na,无问题。
其layout如下所示:
(注意dnw device的画法,此版图不专业,只是为了说明问题,同时也不会引入问题,未加dummy,已验证dummy对此电流镜的wpe参数无影响)。
只显示tg layer的情况:
现在将相同电压域的管子用一篇tg铺满,但都是贴着原有tg层的边去铺,如上图所示,不会留出裕度,如果是用的180nm,这样铺也没啥问题,如果是40nm,这样就出现问题了。
对此layout进行寄生参数提取,在calibre进行norc的提取就可以发现此画法的问题了。用此layout生成的calibreview进行仿真,结果如下。输出电流iout不再是10na,而是24.9na,显然不正常。再看网表,发现wpe参数中sca、scb、scc参数和前仿真的差异很大,导致iout不正常了。电流本来是10na,现在接近25na,变大到原来的2.5倍,如果此电流流过电阻,且后续电路是小摆幅设计,那么电流的变大会时后续电路无法正常工作。
现做改动,将tg层铺满的面积变大,如下图:
再对此layout进行norc后仿真,提取出的calibreview进行仿真,结果如下。网表中,wpe参数和前仿真一样,输出电流变为正常,为10na。
再次做改动,将自己铺设的tg层删除,只保留库里的器件原本的tg层,可看出三个mos之间tg有间距。
对此layout进行norc提取,提取出的calibreview进行仿真,结果如下,可发现,网表中的wpe参数变得更大了,与前仿真的wpe参数差别很大,但是输出电流是正常的,是10na,这个现象就奇怪了,wpe参数偏离前仿真这么多,输出结果竟是正确的。
以上几种layout画法都不会报drc错误,总结经验就是,tg layer应该流出几um的裕度包围mosfet的有源区,这样更保险。(有经验的layouter应该深懂这一点,designer也应该提醒和你对接的layouter这些注意的地方)。
至于tg是如何影响wpe参数的(应该是tg影响了阱的掺杂浓度),wpe参数又是如何影响mos的电流的(现在看来不是正比关系)研究透彻了再分享一下,有知道的同学也可以留言呀。

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