PECVD原理
pecvd原理
pecvd作用：在硅片表面镀上一层深蓝色的氮化硅膜，可以充分吸收太阳光，降低反射，并且氮化硅膜有钝化的作用，保护电池片不受污染。
pecvd原理：利用硅烷（sih4）与氨气（nh3）在等离子体中反应，生成si3n4沉积到硅片表面。
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