中空式二维压电偏摆台的特点及参数
s54系列是具有中心通孔，二维θxθy轴方向运动的压电偏摆台，内部柔性铰链导向机构采用有限元分析优化，使其角度偏移小，响应速度快。采用压电陶瓷驱动实现偏转范围达±1mrad，分辨率可达0.05μrad，可选择配置闭环传感器实现0.1%f.s.的重复定位精度。
s54的台体非常薄，厚度仅为20mm，80×80mm的中心通孔使其非常适用于亚微弧度精密光束调整、计量、定位等应用。
特点
• θx、θy偏摆运动
• 开环/闭环可供选择
• 80×80mm通孔
• 分辨率高
• 适于加速度/角速度传感器标定
电压位移曲线
应用
s54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用于激光合束等应用。
技术参数
型号：s54.t2
运动自由度：θx、θy
偏摆角度（0~120v）：±0.8mrad/轴（≈±165”）
偏摆角度（0~150v）：±1mrad/轴（≈±200”）
闭环传感器：sgs
闭/开环分辨率：0.25μrad（≈0.05”）/0.05μrad（≈0.01”）
闭环线性度：0.2%f.s.
闭环重复定位精度：0.1%f.s.
推/拉力：40/8n
运动方向刚度：0.5n/μm
空载谐振频率：x450/y400hz
闭/开环空载阶跃时间：20/3.5ms
闭环工作频率（-3db）：110hz（空载）
承载能力：1 kg
工作温度范围：-20~80℃
静电容量：3.6μf/轴
材质：铝、钢
重量：510g
出线长：1.5m
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闭环线性度：0.2%f.s.
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