esd,eos,latch-up都是芯片在制造,运输,使用过程中的风险源,他们会对芯片造成不同程度的物理损伤。所以芯片在设计过程中不得不考虑这些因素。前几篇文章都聚焦于esd防护,这一期讨论芯片latch-up防护。
一.latch-up定义
闩锁效应是指体cmos集成电路中所固有的寄生npn和寄生pnp组成的电路在一定条件下被触发而形成低阻通路,从而产生大电流,并且由于正反馈电路的存在而形成闩锁,导致cmos集成电路无法正常工作,甚至烧毁芯片。——《cmos集成电路闩锁效应》。在日常工作中,作者对闩锁现象分为两种,一种是io端口电路发生闩锁(尤其是输出buffer),一种就是esd器件design window设计不当发生的闩锁。
而latch-up与esd最大的区别在于, 闩锁主要发生在芯片正常使用过程中。 latch-up测试时,vdd上电,vss接gnd,非测试引脚按要求接高低电位,对vdd/输出输入接测试电流/电压。而esd主要发生在制造、运输过程中,使用过程。esd测试时一个引脚接电流源,一个引脚接地,芯片不上电。
1.1 cmos电路闩锁
图一.cmos寄生scr结构图。
如图所示,cmos器件里存在多个寄生scr器件。vdd与gnd之间;vdd/输出端口与gnd;vdd/输出端口与输出端口;vdd与gnd/输出端口。前几期已经介绍过scr的工作原理,这里不再赘述。
图二.cmos寄生scr电路图。
vdd出现浪涌,n-well/p-well发生雪崩击穿。 大量雪崩载流子经过阱电阻rnw,rpw产生压降,寄生scr开启。寄生npn与寄生pnp发生正反馈耦合,从而形成低阻通路,发生latch-up。2 .输出端电压过冲,寄生scr中pnp三极管的射电极(输出端)电压高于vdd, 该pnp导通,rpw产生压降,造成寄生npn开启,npn与pnp发生正反馈耦合,从而形成低阻通路,发生latch-up。
输出端电流倒灌,大量电流由nmos和pmos的drain端流入电路中。电流流经阱电阻rnw和rpw, 产生压降作用于寄生npn和pnp的基级,造成寄生npn和pnp的开启,npn与pnp发生正反馈耦合,从而形成低阻通路,发生latch-up。输出端电压下冲,寄生scr中npn三极管的射电极(输出端)电压低于gnd ,该npn导通,rnw产生压降,造成寄生pnp开启,npn与pnp发生正反馈耦合,从而形成低阻通路,发生latch-up。1.2 esd保护器件闩锁
esd器件发生闩锁的情况有两种 一种是esd器件内部寄生scr的开启,还有一种是design window选取不合理。
图三.二极管esd防护示意图。
如图三所示,使用gcnmos作为power clamp时,端口的esd防护会使用二极管,p-diode连接端口与vdd,n-diode连接gnd与端口。n-diode与p-diode之间会存在寄生scr器件,如图四所示。(gcnmos前几期已经讲过,二级管的esd防护后期也会提及)
图四.二极管寄生scr示意图。(图源《cmos集成电路闩锁效应》)
与上文中的cmos中寄生scr类似,p-diode与n-diode间也会存在寄生scr器件且发生latch-up的情况:
vdd出现浪涌,n-well/p-well发生雪崩击穿。 寄生scr开启,发生latch-up。端口电压过冲,寄生scr中pnp三极管的射电极(p-diode阳极)电压高于vdd, 该pnp导通,rpw产生压降,造成寄生npn开启,发生latch-up。端口大电流,大量电流进入n-well/p-well, 经过阱电阻产生压降,发生latch-up。端口电压下冲,寄生scr中npn三极管的射电极(n-diode阴极)电压低于gnd ,该npn导通,rnw产生压降,造成寄生pnp开启,发生latch-up。第二种情况就是esd器件的design window设置不合理。 如果esd器件的iv曲线进入电路的latch-up区,当esd器件被误触发开启后,esd器件会一直保持开启,直至损坏。
图五.用于不同电路中的esd器件以及设计窗口。a)电源钳位电路与设计窗口b)cmos输出级与设计窗口。c)栅极输入与设计窗口。
如图五所示,不同的防护需求的esd器件有对应的设计窗口要求。
a)作用于vdd与gnd之间的power clamp,其holding voltage不能小于vdd。vdd的驱动能力近似是无穷大的,如果esd器件的holding voltage进入latch up区,使用过程中一旦vdd的扰动开启esd器件,esd器件的低阻通路会一直开启,直到烧毁。
b)作用于输出级的esd防护器件,其design window中的latch-up区为由pmos的负载曲线,因为pmos进入饱和区后存在沟道夹断效应,其过电流能力有限,所以latch-up区的电流上限有限。esd器件的holding voltage和holding current一旦进入pmos的latch-up区,pmos会形成对esd器件的持续上拉,带来失效风险。
c)作用于输入级的esd防护器件,其design window中的latch-up区为栅级负载曲线,大部分esd器件都能避免latch-up风险。
如果是esd器件是作用于端口与vdd之间,其栅极输入的design window与端口对地一致,而输出级的design window需要关注nmos的负载曲线,避免进入nmos的下拉负载区内,形成导电通路。
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