射频探针的类型有哪些
射频探针的历史
在半导体测试领域，射频探针是不可或缺的工具。自1980年代，reed gleason与eric strid在tektronix工作时合作发明了第一台高频晶圆探针，并于1983年共同创办cascade microtech公司，这一技术开始得以发展壮大。在此之前，测试mmic器件几乎没有有效的方法，通常只能在键合或封装后进行测试。早期的rf探针采用共面陶瓷材料制造，但陶瓷的弹性范围有限，同时支持的射频频率也有限，第一代探针仅覆盖到18 ghz。然而，如今我们可以选择多种类型的探针，其覆盖频率轻松可达110 ghz以上。
射频探针的类型
为了测量电路性能，需要将信号传输到某种传输线上，这要求至少两个导体，即“信号导体”和“地导体”。因此，射频探针可以分为三种基本类型：gs、sg、gsg。
除了这些基本类型，还存在各种组合，如gsgsg、gssg、sgs等等。探针本身需要与内部不同传输媒介的特征阻抗匹配，以确保在不同的传输模式下高效传输电磁能量。
传统的射频探针通常包括以下几个部分：
1、测试仪器接口（同轴或波导）
2、从测试接口到微同轴电缆的转接
3、微同轴电缆到平面波导（cpw/ms等）的转接
4、共面接口到dut部分即针尖。
也有一些探针将第3和第4部分合并在一起，或者干脆没有微同轴电缆。
一般而言，65 ghz以下的应用使用同轴头，50 ghz到110 ghz之间的频率可以选择同轴或波导。对于覆盖dc到110 ghz的宽带测试系统，如果需要一次扫描测试，通常使用1mm的同轴接口，尽管价格较高。而110 ghz以上的探针通常采用波导形式。
三
其他相关概念
探针间距（probe pitch）：
指的是针尖之间的间距，一般在50-1000微米之间。对于毫米波频率的应用，针尖间距通常较小。我司支持间距100-1250微米。
探针偏移（probe skate）：
当您在z轴方向向下按压探针时，当探针接触到被测器件时，它会在zy平面上发生弯曲移动。通常，这也是判断是否成功扎上的一个现象。
去嵌算法（de-embedding）：
去嵌是一项在探针出现之前就存在的技术，曾广泛用于标准分立夹具测试中。目前已有许多研究关于去嵌相关的算法。【迪赛康】教你怎么使用r&s的网分，去嵌探针测试影响
分享一篇测试校准相关的博士论文片段：
四
射频探针厂商念
formfactor公司于2016年收购了cascade microtech公司，成为行业的领先者之一，其产品覆盖面非常广泛。他们的微波毫米波探针产品系列包括acp系列、infinity系列和|z| probe系列。这些探针具有不同的特点和优势，适用于不同的应用需求
designcon：
迪赛康（designcon）是一家专注于高频高速测试领域的射频探针品牌。成立于2016年，公司自成立以来一直致力于高频、高速领域的探索和研发。
射频探针类型多样，包括gs、sg、gsg、gssg以及差分可调间距探针，以满足不同的应用场景。探针产品支持阻抗、s参数等多种高频测试，并可进行定制探针。
以下为我司探针产品图
此外，还有其他一些射频探针制造商，较大的一些包括：
keysight technologies：提供各种类型的射频和微波探针，以及相关测试仪器。
rohde & schwarz：提供广泛的射频和微波测试解决方案，包括探针和测量设备。
anritsu：专注于通信和电子测试领域，提供各种射频和微波探针以及测试解决方案。
mpi corporation：全球领先的半导体测试解决方案供应商，提供多种射频和微波探针用于半导体测试。
ggb industries：专注于微波和射频探针技术，提供高性能探针以满足不同的测试需求。
sv probe：专门提供半导体测试探针，包括射频和微波应用。
总结：
国产探针具有更短的交货周期，能够更快地满足您的需求。其次，国产产品在售后支持和维修方面更为便利，您可以轻松联系本地供应商解决问题，减少停机时间。此外，国产探针价格更加适中，有着更具竞争力的价格，降低了测试设备的总成本。同时，本地技术支持和培训服务可以提高测试效率，并确保设备性能稳定。此外，国产产品更容易根据国内市场需求进行定制和改进，以满足客户的具体需求。最后，选择国产探针还可以避免受到国际贸易问题的影响，提供更稳定的供应链。
总之，选择国产射频探针是一个经济实惠且明智的选择，尤其是在考虑到交货时间、价格、售后支持和定制需求等方面。
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射频探针的类型
为了测量电路性能，需要将信号传输到某种传输线上，这要求至少两个导体，即“信号导体”和“地导体”。因此，射频探针可以分为三种基本类型：gs、sg、gsg。
除了这些基本类型，还存在各种组合，如gsgsg、gssg、sgs等等。探针本身需要与内部不同传输媒介的特征阻抗匹配，以确保在不同的传输模式下高效传输电磁能量。
传统的射频探针通常包括以下几个部分：
1、测试仪器接口（同轴或波导）
2、从测试接口到微同轴电缆的转接
3、微同轴电缆到平面波导（cpw/ms等）的转接
4、共面接口到dut部分即针尖。
也有一些探针将第3和第4部分合并在一起，或者干脆没有微同轴电缆。
一般而言，65 ghz以下的应用使用同轴头，50 ghz到110 ghz之间的频率可以选择同轴或波导。对于覆盖dc到110 ghz的宽带测试系统，如果需要一次扫描测试，通常使用1mm的同轴接口，尽管价格较高。而110 ghz以上的探针通常采用波导形式。
三
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指的是针尖之间的间距，一般在50-1000微米之间。对于毫米波频率的应用，针尖间距通常较小。我司支持间距100-1250微米。
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四
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rohde & schwarz：提供广泛的射频和微波测试解决方案，包括探针和测量设备。
anritsu：专注于通信和电子测试领域，提供各种射频和微波探针以及测试解决方案。
mpi corporation：全球领先的半导体测试解决方案供应商，提供多种射频和微波探针用于半导体测试。
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总结：
国产探针具有更短的交货周期，能够更快地满足您的需求。其次，国产产品在售后支持和维修方面更为便利，您可以轻松联系本地供应商解决问题，减少停机时间。此外，国产探针价格更加适中，有着更具竞争力的价格，降低了测试设备的总成本。同时，本地技术支持和培训服务可以提高测试效率，并确保设备性能稳定。此外，国产产品更容易根据国内市场需求进行定制和改进，以满足客户的具体需求。最后，选择国产探针还可以避免受到国际贸易问题的影响，提供更稳定的供应链。
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