何为mems麦克风?
mems(微型机电系统)麦克风是提供高保真声感的微型器件,体积小,可紧密集成于电子产品中,如智能手机、智能扬声器以及耳机等电子消费品。现在,mems麦克风不仅能够记录普通的环境声音,还具备立体声、主动降噪、指向性(聚束)、语音识别等功能。增加设备的麦克风数量即可实现这些音频功能,例如最新智能手机中的mems麦克风可多达6个。出色的性能使mems麦克风应用范围广,因而产生了大量的市场需求。
什么是电容式mems麦克风?其工作原理是什么?
所有麦克风(传统麦克风和mems麦克风)都通过柔性膜片感应声波。在声波压力下,膜片会发生位移。现在市场上大部分mems麦克风都使用电容技术来探测声音。电容式mems麦克风的工作原理是测量柔性膜片和固定背板之间的电容。声波带来的气压变化会导致膜片发生位移。空气可穿过背板上的小孔,因此背板的位置不会发生改变。在膜片移动的过程中,膜片与固定背板之间距离会发生改变,最终导致两者之间电容值的改变,这种电信号的变化可以被记录和分析。
电容式mems麦克风存在不同的类型,如:
单一背板麦克风
双层背板麦克风,背板分置膜片两侧
双层膜片麦克风的背板封装在两层膜片之间,膜之间可以是真空的。
mems麦克风设计
mems麦克风设计人员需要研究并优化频率响应、灵敏度、信噪比(snr)、总谐波失真和等效输入噪声等关键性能指标。信噪比是一项关键性能指标,不同的电容式mems麦克风通过增加信号(双层背板和双层膜片)或降低噪声(在两层膜片之间进行真空密封)来提高信噪比snr。
对电容式mems麦克风及其性能特征的设计、建模和研究可以在mems+®(coventormp® mems设计平台的组成部分)中进行。mems+提供不同mems结构的非线性和多物理参数模型,这些模型可以组成完整的mems麦克风设计。此外,还可以将mems+麦克风集成到cadence virtuoso®电路仿真软件中,这将使我们可以通过特定的ic偏置条件模拟mems麦克风及其asic。
未来的mems麦克风设计
如今人工智能时代下,市场上已经出现了基于创新的自动优化技术的mems设计方案。例如,慕尼黑工业大学电子设计自动化学院的小组曾研究并演示了基于mems+的mems麦克风包括其读出电路自动化优化设计。
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