何时使用MEMS器件？
mems技术可以被结合到各种各样的电子部件中。生产这些组件的公司大概会认为mems实施优于mems版本问世之前所使用的实施方式。很难验证足够多的这些主张来证明按照“mems器件比非mems器件具有明显更好的性能”这样的概括说法是合理的。但是，我的总体印象是，在许多情况下，mems确实是向前迈出的重要一步，如果性能或易于实现是您设计中的优先事项，那么我将首先关注mems器件。
在电气工程领域，mems技术已被分为四个产品类别：
音讯
感测器
开关
震荡器
可能有些不常见的产品不属于这些类别之一。如果您知道我忽略的某些内容，请随时在评论中告知我们。
音讯：在音频领域，我们有mems麦克风和mems扬声器。下图传达了mems麦克风的基本特性。
感测器：传感器是mems技术的主要应用。有mems陀螺仪，倾角仪，加速度计，流量传感器，气体传感器，压力传感器和磁场传感器。
开关：在我看来，电控开关是mems技术特别有趣的应用。我在本文中介绍过的adgm1004易于控制，可在0hz至10ghz以上的信号频率下工作，在关断状态下的泄漏电流小于1na，提供的驱动寿命至少为一个十亿个周期。
震荡器：将微机械谐振器与激励电路和维持电路相结合会产生mems振荡器。如果您想研究实际的mems组件，可以查阅2017年的一篇新闻文章，其中我讨论了sitime的sit2024bmems振荡器。
图由sitime提供。
我在mems振荡器方面经验不足，但我认为它们可能是苛刻应用中的绝佳选择。在上述有关sit2024b的文章中，我指出，基于sitime的信息，mems振荡器可以大大优于石英振荡器。
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